本仪器配置数字存储示波器，软件依照寿命测量基本原理编写，采用了标准（MF28 及MF1535）中推荐的几种读数方法。

数字示波器具有存储功能，应用平均采样方式，平均次数可选4、16、32、64、128、256 次，随平均次数的增加随机噪声被减小，波形稳定、清晰。

微波光电导载流子复合寿命测试仪是参照半导体设备和材料组织SEMI 标准MF1535-0707 及标准GB/T 26068-2010设计制造。本设备采用微波反射接触光电导衰退测量方法，适用于厚度为1mm 以下的硅片、电池片少数载流子寿命的测量，提供接触、损伤、数字显示的快速测量。寿命测量可灵敏地反映半导体重金属污染及缺陷存在的情况，是半导体的重要检测项目。

指标：

寿命测量范围：0.25μs～10ms；

电阻率下限：≥0.5Ω·cm，尚未发现电阻率测量上限。

型号：N 型或P 型单晶或铸造多晶。

红外光源波长：0.904～0.905μm；

外形尺寸：365×415×160mm

产品重量：13Kg

工作电源：～220V 50Hz

功耗范围：≤40W

基本配置：

100B寿命仪主机1台

数字示波器1台

信号线1条

校核片1片

156*156开方硅锭测试台1套