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四探针电阻率标准


发布日期:[2023-02-14] 共阅[589]次

GDSKDY-1L型四探针电阻率测试仪是我公司严格按照硅片电阻率测量的,标准(ASTM F84)及,标准设计制造,并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。整套仪器有如下特点
1、配有双数字表:一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测,过程中的电流变化,使操作%简便,测量%,。
数字电压表量程:0—199.99mV  灵敏度:10μV  输入阻抗:1000ΜΩ
                        基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)
2、可测电阻率范围:0.00001 —1990Ω·cm。
   可测方块电阻范围:0.0001—19000Ω/□。
3、设有电压表自动复零功能,当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时,电压表指零,1、4探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、3探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。
4、流经硅片的测量电流由高度稳定(万分之五精度)的恒流源提供,不受气候条件的影响,整机测量精度<3%。
电流量程分五档:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、仪器采用触点电阻%低(<5mΩ)、使用寿命%长的转换开头及继电器(>10%),在,缘电阻、电流容量方面留有%大的,系数,提高了测试仪的,性和使用寿命。
6、可加配HQ-710E微处理机及打印机,实现自动换向测量、求平均值,计算并打印电阻率,值、,值、,百分变化率、平均百分变化率等内容。
7、可加配电脑,使用,软件进行数据采集,实现自动换向测量、存储,求平均值,,值、,值、,百分变化率、平均百分变化率等内容。
8、可配KDDJ-2电动测试架,自动上下运行,使测量%方便快捷。
9、四探针头采用,上,的红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性提高

 

 
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