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  公司动态

关于四探针电阻率选配探针的要求!


发布日期:[2014-05-26] 共阅[774]次

四探针电阻率采购时需说明测试介质的性质,根据不同的介质选配不同个测试探头,以便达到设置的实验目的!具体信息可打询问!

四探针电阻率测定仪  货号:ZH221 
严格按照硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及标准设计制造,并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进
是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以之几的精度)适时监测程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.1~0.2%。了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的zui大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。
主机能数
测量范围:
可测电阻率:0.0001~19.9999cm
可测方块电阻:0.0001~1000Ωcm
恒流源:
输出电流:DC 0.001~100mA 五档连续可调
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:档均低于±0.05%
直流数字电压表:
测量范围:0~19.999mV
灵敏度:1μV
基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)
输出电源:≥1000ΩM
供电电源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
使用环境:
温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%
较强的电场干扰,强光直接照射
重量、体积:
主机重量:7.5kg
体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)

四探针头
产品简介
使用几何尺寸的红宝石轴套,确保探针间距的恒定、准确。
控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μm,探针的小游移率。
采用的S型悬臂式弹簧,使每根探针都具有立、准确的压力。
量具精度的硬质合金探针,在宝石导孔内稳定运动,持久耐磨。
用途
测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率,测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。
测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻。
探针间距
直线四探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
方形四探针…………… 1.00mm
直线三探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
两探针    …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
指标
游移率   
       B…………… <0.5%
       A……………<0.3%
       AA………… <0.2%
       AAA…………<0.1%
间距偏差  
        B…………… <3%
        A…………… <2%
        AA…………  <2%
        AAA………… <1%
zui大针与导孔间隙:0.006mm
探针材料:硬质合金(主成份:进口碳化钨)或高速钢
探针压力  标准压力:6—10N(4根针总压力)
          小压力:1.2—5N(4根针总压力)     
          1牛顿(N)=101.97克
针尖压痕直径:25—100μm、100—250μm(簿层)
500V缘电阻:>1000MΩ 

四探针手动测试架
产品简介 
支架尺寸:
竖测高度:500mm
台面:200×300mm/240×380mm
特点:
主于测棒、块。
注:其它尺寸可按要求订做

四探针手动测试架  
产品简介 
支架尺寸:
竖测高度:120mm
台面:200×300mm
特点:
主于测片。


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